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应用领域
应用于光探测器用电子玻璃材料、光敏微精玻璃等光电子玻璃产品的制造。
技术参数
1.工位接口数量:6-20工位。
2.极限真空度:抽排的工件极限真空度10-8Pa;
3.无油污染:采用无油机械泵与分子泵,避免油蒸汽对工作环境的污染;
4. 烘烤:烘箱加热,烘烤温度可达到200℃且具有温度显示和可调功能;
5. 工位处配置充N2接口,使在卸下工件时能够充入N2保护;
高真空排气台