发布日期:2022-11-05 点击率:32
① 陶瓷表面机械加工时,其粗糙值随磨料直径而线性增大。
② 对不同磨料直径研磨所得出的表面状态,用泰吕塞夫表面测量仪、电子显微镜、扫描电子显微镜进行了观察、照相。随着磨粒增大,粗糙度值也增大的同时,陶瓷表面裂纹也增多。
③ 陶瓷经表面加工后,陶瓷强度和封接强度均有所下降,其下降范围约在20%~40%。高温金属粉末法和Ti-Ag-Cu活性法以抛光面强度为最高,而溅射金属化法则280# SiC研磨面为最高。
④ 陶瓷自然表面(烧结表面)是真空电子器件用陶瓷最理想的一种表面,不仅其陶瓷强度最高,而且其封接强度也大致介乎于粗磨面和细磨面之间,是完全可以接受的。因此只要表面尺寸符合要求且无Al2O3微粉等的黏附,直接采用自然面来进行封接是可取的。
⑤ 用抛光面来进行溅射金属化,其封接强度为最低,而且有少量试验件漏气。
因此,对溅射金属化等一类方法来说是不宜采用抛光面的。有关这方面的科学解释,将有待今后进一步试验。总之,对高温金属化法和Ti-Ag-Cu活性法来说,推荐采用粗糙度值小的表面状态,即推荐采用抛光面,而对溅射金属化法则推荐用细磨面。
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