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科普知识
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内接式连接器

抽真空检漏法

发布日期:2022-11-05 点击率:26

    被检容器和检漏仪器的敏感元件处于真空状态,示漏物质施加在被检容器的外部,如有漏孔存在,示漏物质便通过漏孔被吸入容器和仪器敏感元件空间,由敏感元件检测出示漏物质的存在,从而可判定漏孔的位置和大小。

检漏方法

工作压力Pa

现象

设备

最小可检漏率Pa*L/s

静态升压法


静态压力上升

真空计

10-2~10-3

放电管法


放电颜色改变

放电管

1~10-1

高频火花检漏器法

103~5x10-1

亮点,放电颜色改变

高频火花检漏仪

1~10-1

热传导真空规法

103~5x10-1

真空计读数变化

热偶或电阻真空计

10-3

电离真空规法

10-2~10-6

电离真空计

10-6

差动热传导真空规法

103~10-1

热传导真空计差动组合

10-4

差动电离真空规法

10-2~10-6

电离真空计差动组合

10-7

具有吸附阱的热传导真空规法


热传导规液氮活性炭阱

10-4

具有吸附阱的电离真空规法


冷阴极电离规,液氮硅胶阱

10-7~10-10

氢钯法

50~10-5

氢通过钯管使真空计读数变化

钯管、电离真空计

10-4~10-8

卤素检漏仪内探头法

10~10-1

仪表读数变化

卤素检漏仪

10-4~10-6

离子泵检漏法

10-4~10-7

离子流变化

离子泵本身

10-6~10-9

氦质谱检漏仪法

10-2

输出表及音响频率变化

氦质谱检漏仪

10-7~10-9

四极质谱计分析法

10-2

输出表及音响频率变化

四极质谱计

10-9


(慧朴科技,huiputech)


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