近期，科技部组织召开了863计划“水陆交通安全传感器及系统”和“汽车电子稳定程序（ESP）微传感器及系统”课题验收会。验收专家听取了课题汇报，审查了相关资料，进行了现场考察并观看了成果演示，一致同意两课题通过验收。

　　“水陆交通安全传感器及系统”课题针对水路交通和公路交通安全需求，基于MEMS矢量水听器开展了水路交通安全避障系统研究，解决了MEMS矢量水听器批量化制造、封装、集成等关键技术；基于温度、盐度、水膜、变频等传感器开展了路面传感器系统研究，解决了多传感模块集成化和相关软件算法等关键技术。MEMS矢量水听器完成了800套产品的示范应用，并具备了小批量生产能力；路面传感器系统完成了5027套产品的合同销售，具备了批量生产能力，实现了实际应用。该课题成果促进了我国水路交通安全避障系统的发展，实现了我国路面传感器系统国产化并促进了其推广应用。

　　“汽车电子稳定程序（ESP）微传感器及系统课题是针对ESP（汽车电子稳定程序，下同）高性能、低成本和高可靠性的应用目标，开展了MEMS（微机电系统，下同）陀螺仪和加速度传感器设计、MEMS惯性器件批量制造与测试、低成本塑封空腔外壳集成封装、ESP系统研制及传感器验证等研究，突破了MEMS陀螺仪数字闭环系统设计、圆片级真空封装、低应力塑封、圆片级在片测试、MEMS传感器成品率控制等关键技术。在陀螺仪数字化电路、注塑空腔封装、MEMS陀螺仪和加速度传感器在片自动测试等方面有所创新，开发出了基于自主研制MEMS陀螺仪和MEMS加速度传感器的汽车ESP系统，可靠性满足汽车环境标准，完成汽车应用环境试验和路试，实现了示范应用。