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倾角传感器

浅谈倾角传感器应用

发布日期:2022-10-09 点击率:16

  倾角传感器在目前的汽车电子、工业控制等领域是很常见的,常常会被用到。实际工作中则主要用在工程机械、港口机械、顶管盾构机、桥梁建设、大坝监测、土木工程等领域。并且应用于各军工单位,科研机构,航空航天,导航系统,铁路监测,核工业机械等企事业单位当中。

   别看这小小倾角传感器这么简单,它不仅仅是用一二块芯片和几块PCB板再加一些外接电路焊接在一起就完事,更重要的是传感器封装完好了以后,对倾角传感器进行一系列的补偿,比如要想在不同温度段使倾角传感器都能达到同一精度,就必须对倾角传感器进行温度补偿,要想在全角度范围内精度能达到一致,必须进行角度补偿,线性补偿等等才能使的该倾角传感器在各种复杂环境中使用,这就要涉及到要有很多高端的生产设备,高低箱,转台,振动台等等,这是很多人无法做到的。

  倾角传感器是由高质量硅电容传感器元件和接口电子组成并装配在特定的应用包装中的。硅电容倾角传感器的元件是由单晶硅和玻璃做成的。这种设计能确保相对于时间和温度的可靠性,史无前例的准确性和优秀的稳定性。通常一个元件能承受多余40000g的加速度(1g=地球引力的加速度)。

   在单晶硅中没有塑料变形和磁滞现象,它要么被制作成功或者完全被破坏。悬臂式的双电容传感元件设有超负荷保护,它能够测量两个方向的加速度。

  倾角传感器的核心部分是微机械加速度传感器元件的对称电容块,它由三片相互被薄玻璃膜隔离的硅片组成。中间硅片是悬臂多射线式结构,在它上面的大的质量块,电容和弹性系数能独立的得到最佳结果。这正是在低g值量程内取得很好测量结果的原因。作用在硅片上的重力和加速的力量使单晶硅电射束振荡弯曲,这种偏差能被两金属膜为电极的电容之间的距离变化而测量出来。微机械片能使相对大的电容和电容变化容易的被检测出来。

   双电容结构和它的对称性同时改进了零点的稳定性。发生在它们之中一个电容中的任何变化会引起对面电容中的相似变化而得到补偿。另外对称性能导致交叉轴误差较大。加速传感器的装配中对称性是由角度的准确度而确定的。不同的量程是由调节弦片的厚度来实现的。传感器元件的湿度由密封洞穴中的压力所决定的,此密封洞穴是由中间硅片,弦片和外层硅片构成。可以通过调整传感器元件来满足不同用途的需要,密封性是通过阳极与硅片牢固粘合而达到的。这样也省去了额外包装的需要,提高了产品质量的可靠性。

  

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