X射线荧光光谱仪（XRF）是一种较新型的可以对多元素进行快速同时测定的仪器。在X射线激发下，被测元素原子的内层电子发生能级跃迁而发出次级X射线（即X-荧光）。波长和能量是从不同的角度来观察描述X射线所采用的两个物理量。
    1. 分析的元素广，几乎元素周期表上前92号的元素都能分析；
    2．分析含量范围广，从lOO％到十万分之几几乎都能测，精度并不亚于其他检测方法；
    3．样品在分析过程中不受破坏；
    4．快速方便，可在一二分钟内完成二三十个元素的测定；
    5．与分析样品的形态无关，固体、液体、块、粒、粉末、薄膜或任意尺寸的样品均可分析；
    6. 相对于其他无损检测方法，X射线的能量要大得多(满功率可达2.7XW)，X射线的透射深度近lmm，它可较好地解决镀金、包金等样品的测试问题；
    7．对操作人员的技术熟练程度要求不高。