发布日期：2022-10-09 点击率：41
产品型号：IPEX-800 Series
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产品介绍：
IPEX 系列激光器专为制造环境中的高占空比操作而设计，可提供高功率紫外激光加工和性能。IPEX 激光器采用LightMachinery的exciPure 技术，可提供超长的气体寿命、光学稳定性和对激光器工作参数的控制。操作准分子激光器的单一成本是激光气体消耗（也称为动态气体寿命）。凭借exciPure 技术，LightMachinery 的气体使用量比竞争激光器提高了10 倍。这一技术突破大大降低了运行激光器的成本。安装在光学端口上的 EasyClean自动阀允许密封激光室并保留气体填充/钝化，同时移除谐振器光学器件进行清洁和维护。IPEX-800 激光器易于使用、维修简单且操作经济，结合了高精度准分子加工的优势、当今市场上的总拥有成本和正常运行时间。上面显示的陶瓷标记是这些多功能工业工具的众多应用之一。
特征
exciPure 技术可实现令人难以置信的 10 倍气体寿命和运行成本
无需昂贵的低温气体净化器
EasyClean 自动光学密封件可保持气体填充并减少停机时间
光学维护
可选的高亮度光学元件，适用于需要低光束发散或延长相干长度的应用
高稳定性光学安装座可实现光束指向精度
简单集成到工业处理系统中
优势
延长气体寿命、长更换间隔、低运行成本
简化光学维护，保留气体填充和钝化
提供200微弧度的指向稳定性
清洁或更换光学元件后无需重新校准
内部、突发和外部触发模式下的快速、准确的能量稳定
优异的能量稳定性，优于1.0% (KrF)
去除微粒并保持光学元件清洁度
应用
24/7 脉冲激光沉积
精密制造
材料加工
钻孔
剥线
科学研究
激光雷达
激光诱导击穿光谱
参数：
波长 | 193nm ArF | 248nm KrF | 308 XeCl | 351 XeF |
脉冲能量max. (mJ) IPEX-840 | 230 | 450 | 300 | 275 |
脉冲能量max. (mJ) IPEX-860 | 250 | 700 | 600 | 350 |
稳定脉冲能量 (mJ) IPEX-840 | 150 | 400 | 250 | 225 |
稳定脉冲能量 (mJ) IPEX-840 | 200 | 600 | 500 | 300 |
稳定平均功率 (W)
IPEX-848 | 30 | 80 | 50 | 45 |
IPEX-846 | 15 | 40 | 25 | 22 |
IPEX-844 | 6.0 | 20 | 12 | 11 |
IPEX-842 | 3.0 | 10 | 6.0 | 5.5 |
IPEX-868 | 20 | 60 | 50 | 30 |
IPEX-866 | 10 | 30 | 25 | 15 |
IPEX-864 | 5.0 | 18 | 10 | 9 |
IPEX-862 | 2.5 | 9.0 | 5.0 | 4.5 |
重复频率max. (Hz)
IPEX-848 | 200 | 200 | 200 | 200 |
IPEX-846 | 100 | 100 | 100 | 100 |
IPEX-844 | 40 | 50 | 50 | 50 |
IPEX-842 | 20 | 25 | 25 | 25 |
IPEX-868 | 100 | 100 | 100 | 100 |
IPEX-866 | 50 | 50 | 50 | 50 |
IPEX-864 | 25 | 30 | 20 | 30 |
IPEX-862 | 12 | 15 | 10 | 15 |
脉冲持续时间：12 至 20 ns FWHM
能量稳定性，1 Sigma：1% (KrF)
光束尺寸 (mm) (V x H)：IPEX-740 系列 12 x 26
光束尺寸 (mm) (V x H)：IPEX-760 系列 12 x 28
光束发散度 (mrad) (V x H)：1 x 3 或者可以使用高亮度不稳定谐振器光学器件降低到 0.25mrad
电源要求：单相，200 - 240 V 50/60Hz； 8x6:2.5kW, 8x4:1.5kW。8x2:1kW
冷却要求：可选空气冷却至 25Hz 操作，水冷以更高的重复率
激光气体：预混或单个气瓶
重量：8x8 型号 400kg，8x6/8x4/8x2 型号：380kg
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