mems传感器 流量：一文带你了解MEMS流量传感器

MEMS传感器即微机电系统（Micro-electro Mechanical Systems），是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。与传统的传感器相比，具有体积小、成本低、功耗低、可靠性高、易于集成等特点。欧姆龙MEMS流量传感器，采用其独创的高精度加工技术，将流量传感器核心器件封装在尺寸仅为1.5*1.55*0.4mm的MEMS芯片里面。这种超精细的MEMS传感器，不但能检测1毫米/秒的气体流速变化，还能高精度地实现大批量生产。

流量传感器内部结构

这种传感器芯片采用使用热线的质量流量检测方式。其芯片中央具有加热器，上游侧的热电堆 (A)及下游侧热电堆 (B)配置在加热器的 两侧，热电堆附近配置有基座测温体，它们均是采用半导体工艺制造的。加热器和热电堆列组的底部形成空腔，使得热电堆可高效检测加热器的热量。

流量传感器的检测原理

通过给MEMS芯片加恒定电流，使芯片中央的加热器产生热量。没有风通过时，加热器上游热电堆和下游热电堆由于热平衡的关系，两者对应的热电动势电压相等，即Vu=Vd。当有气体流动时，热源随气流方向向下游转移，此时下游热电堆的电动势变大，即Vd＞ Vu。两个热电堆的输出差大致与通过传感器表面的气体质量流量的平方根成正比。输出灵敏度和质量流量取决于气体的组成比。微小的信号可以通过放大电路进行放大，再以电子方式检测气体流量。风量传感器经调整后输出的电压与质量流量为 25°C、 101.3kPa 时的流速相当。

流量传感器的应用

堵塞检测---投影仪、PC机、服务器

燃烧控制---燃料电池、热水器、锅炉

风量检测---管道、气流测量、空调

加料速率控制---麻醉仪、制氧机

欧姆龙D6F系列流量传感器种类

广州鼎悦电子科技有限公司，专业代理欧姆龙电子元器件，为您提供各类传感器、开关、继电器，以及连接器。欢迎跟我们了解!

mems传感器 流量：欧姆龙技术

欧姆龙技术
MEMS流量传感器

产品特点
能大限度发挥燃料电池发电效率的高精度MEMS流量传感器

技术特点
应用气体流量测试技术检测仅为1毫米/秒的气体流量

能大限度发挥燃料电池发电效率的高精度MEMS流量传感器

作为减轻环境负担的新一代燃料电池系统零部件，MEMS流量传感器发挥着重要的作用。
燃料电池的原理就是将城市燃气中含有的氢气与氧气混合在一起，产生化学反应进行发电。为了尽量提高发电效率，需要使氢气与氧气在合适的混合比率的情况下进行燃烧。为了达到这一目的，需要发挥MEMS流量传感器的高精度测试技术。

欧姆龙采用独创的超细微加工技术，开发了装配有流速检测元件的MEMS流量传感器。拥有引以为傲的高级别灵敏度，甚至是1毫米/秒的气体流速变化也能精确检测。随着燃料电池的普及，对欧姆龙小型、高性能MEMS流量传感器用途的期待也不断高涨。

技术特长气体流量检测技术

应用气体流量检测技术，检测仅为1毫米/秒的气体流量

为了检测微量的流速，就需要缩小装在MEMS流量传感器检测部位的MEMS流量传感器芯片。通过充分发挥欧姆龙独创的高精度加工技术，创造出小尺寸(1.55毫米 x 1.55毫米，厚0.4毫米)的芯片。
其测试原理如图所示，在没有气体流动的情况下以加热器为中心，温度分布左右对称；如有气体流动，加热器排出的风的上方就会变冷，风的下方就会变热，从而导致温度失衡。此温度差作为两个热电偶的电动势差，可用于检测流速及流量。

另外，通过应用欧姆龙独创的蚀刻技术等，即使是这种超精细的MEMS，也能高精度地实现质量稳定的大批量生产。凭借这种高度的MEMS生产性，欧姆龙大幅度降低了产品成本，从而不仅在燃料电池方面，还可广泛应用于检测精密设备的空冷状态等各种领域。

欧姆龙技术
 视觉传感器
 印刷电路板外观检查装置
 自动检票机
 安全光幕
 面部识别传感器
 中心动脉血压检测仪
 超薄型FPC接口
 汽车无钥匙门禁系统
 大容量直流继电器
 MEMS流量传感器

mems传感器 流量：科技创新 驱动梦想｜热烈祝贺奥松电子创始人荣获“杰出人才”奖

科技创新 驱动梦想|热烈祝贺奥松电子创始人荣获“杰出人才”奖

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9天前
在企业蓬勃发展的历程中,张宾先生高度重视技术创新的研发工作,先后主持“湿敏电阻芯片、MEMS湿敏电容芯片的研发与生产工艺设计”、“呼吸机专用流量传感器”、“差压传感器”、“氧气传感器”、“空气质量传感器”等多个重大研发项目,多项技术...百度快照

2021中国MEMS10强企业,附23条MEMS生产线汇总!

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华润微电子是2002年华润集团收购华晶集团改组而成,是领先的半导体和智能传感器供应商,总部位于无锡,拥有3条6英寸线,其中MEMS产线是国内规模最大的与CMOS生产线兼容的MEMS传感器量产生产线,具有国内领先水平的 MEMS 表面和体硅加工技术,用...百度快照

气体传感器优势企业:把握行业趋势,技术各有千秋

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单功能气体传感器逐渐被复合型气体传感器取代，同时检测多组分气体包括浓度、流量、温度、湿度、压力在内的多种特性的需求出现，而不再只是单独检测一项指标。而新材料以及MEMS技术的突破，也将传感器向小型化推进了一大步，目前气体传感器...百度快照

2021上半年全球10大杰出MEMS传感器,获EDN高级技术编辑点赞

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这里推荐的是2021年,令他觉得技术、性能非常出色,或者非常具有前瞻性的,令人赞叹的MEMS传感器,这些传感器是地球上各自领域的最高技术代表,涉及声音、气流、超声波、光机械、TCXO等传感器类型,值得其他厂商借鉴、学习,并超越,尤其是广大中国...百度快照

36氪独家 | MEMS气体传感器厂商「微纳感知」获数千万元A轮融资...

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「微纳感知」成立于2015年,专注于MEMS传感器及模块的研发与量产,公司主要产品包括MEMS气体传感器、MEMS气体流量传感器,MEMS红外温度传感器及模组,广泛应用于消费、家电、汽车等领域。 微纳感知气体传感器,图片来源:微纳感知 ...百度快照

华米科技入股微纳感知 后者专注于MEMS传感器研发

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原标题:华米科技入股微纳感知 后者专注于MEMS传感器研发 来源:电子发烧友 企查查显示,1月29日,合肥微纳传感技术有限公司(以下简称“微纳感知”)发生工商变更,新增多位股东,包括中信创业投资(上海)有限公司、安徽华颖智慧物联基金合伙企业...百度快照

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原位芯片成立于2015年,由清华大学和中科院微电子专业人士共同创立,专注于新型MEMS芯片与模组的研发、生产和销售。以自研的MEMS芯片为核心,开发MEMS液体流量传感器、微泵等产品,此外,还提供氮化硅膜窗口产品和微纳流片代工服务。 百度快照

...合肥微纳传感技术有限公司专注MEMS气体、流量传感器与解决方案...

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2月1日
公司致力于各类MEMS传感器的研发、制造与销售,先后与中国科技大学、上海交通大学、中国科学院上海微系统所、安徽大学等高校建立长年产学研合作,为市场提供高性能MEMS微热板芯片、MEMS气体流量芯片、MEMS气体传感器、MEMS气体流量传感器、MEMS红外...百度快照

MEMS产品销量大幅增加 敏芯股份上半年营收同增40.17%

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-012 -012 线性位移传感器 - LVDT

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电气特征

线性位移传感器 - LVDT/LVIT 电源电压?(V):
±15

模拟输出?:
±10 V

电气连接?:
PT02A-10-6P

主体特性

线性位移传感器 - LVDT/LVIT 外形尺寸?:
圆柱形

弹簧回弹式?:
分离式铁芯, 分离式铁芯

壳体特性

线性位移传感器 - LVDT/LVIT 外壳材料?:
不锈钢

外壳直径?:
4.78?mm?[?.188?in?]

使用环境

工作温度范围?:
0 – 70?°C?[?32 – 158?°F?]

环境规范?:
1,000 PSI 压力

...

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-M -M 角位移传感器 - RVDTRVIT

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产品类型特性

角度位移传感器 - RVDT/RVIT 类型?:
RVDT

结构特性

电气连接?:
M12.5 针

电气特征

Input Current (Max)?(mA):
25

角度位移传感器 - RVDT/RVIT 输出类型?:
0 – 10 VDC

主体特性

角度感应范围?(°):
0 – 120

角度位移传感器 - RVDT/RVIT 重量?(g):
99

外壳材料?:
铝

机械附件

角度位移传感器 - RVDT/RVIT 安装?:
Servo Groove

...

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-00 -00 即插即用加速度传感器

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产品类型特性

加速度计类型?:
MEMS DC

即插即用加速度计传感器类型?:
直流响应即插即用加速度计

结构特性

电气连接?:
5 针连接器

电气特征

满量程输出电压?(VDC):
±2

励磁电压?(VDC):
4 – 30

零加速输出?(mV):
±50

信号特征

频率响应?(Hz):
0-1500

主体特性

轴数?:
1

重量?:
16?g?[?.56?oz?]

材料?:
不锈钢

...

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-1 -1 角度位置传感器 - 空心轴旋转变压器

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结构特性

Resolver Size?:
21

Pole Pairs?:
1

其他

Angular Error?('):
20

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315-120 315-120 即插即用加速度传感器

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产品类型特性

即插即用加速度计传感器类型?:
电缆组件

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-00 341A-240 即插即用加速度传感器

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产品类型特性

即插即用加速度计传感器类型?:
电缆组件

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4000A-005-060 4000A-005-060 即插即用加速度传感器

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产品类型特性

加速度计类型?:
MEMS DC

即插即用加速度计传感器类型?:
直流响应即插即用加速度计

结构特性

电气连接?:
一体式电缆

电气特征

满量程输出电压?(VDC):
±2

励磁电压?(VDC):
8 – 36

零加速输出?(mV):
±100

励磁电流?(mA):
5

信号特征

频率响应?(Hz):
0-300

主体特性

轴数?:
1

重量?:
7?g?[?.245?oz?]

...

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4000A-050-030 4000A-050-030 即插即用加速度传感器

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产品类型特性

加速度计类型?:
MEMS DC

即插即用加速度计传感器类型?:
直流响应即插即用加速度计

结构特性

电气连接?:
一体式电缆

电气特征

满量程输出电压?(VDC):
±2

励磁电压?(VDC):
8 – 36

零加速输出?(mV):
±100

励磁电流?(mA):
5

信号特征

频率响应?(Hz):
0-800

主体特性

轴数?:
1

重量?:
7?g?[?.245?oz?]

...

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603-0100-120 603-0100-120 速率和惯性传感器

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产品类型特性

速率和惯性传感器类型?:
Rate Sensors/Gyros

电气特征

励磁电压?(VDC):
5 – 16

尺寸

尺寸 MM?:
20.8 x 20.8 x 14.5

使用环境

工作温度范围?:
-40 – 105?°C?[?-40 – 221?°F?]

包装特性

速率和惯性传感器包装?:
Anodized Aluminium

其他

精确度?:
±0.5% Non-Linearity

FS 范围 (±) DEG/SEC?:
100...

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-00 610-12K-276 速率和惯性传感器

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产品类型特性

速率和惯性传感器类型?:
Rate Sensors/Gyros

电气特征

励磁电压?(VDC):
5 – 16

尺寸

尺寸 MM?:
14.6 x 10.2 x 7.6

使用环境

工作温度范围?:
-40 – 105?°C?[?-40 – 221?°F?]

包装特性

速率和惯性传感器包装?:
Anodized Aluminium

其他

精确度?:
±0.5% Non-Linearity

FS 范围 (±) DEG/SEC?:
...

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-000 -000 位置传感器配套仪表

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电气特征

线路电源电压要求?(VDC):
±12, ±15

信号调节 - LVDT/RVDT 输出类型?(VDC):
±10

励磁电压?(Vrms):
3

信号特征

励磁频率?(kHz):
2.5 – 10

机械附件

信号调节 - LVDT/RVDT 安装?:
Printed Circuit Board Edge or Terminal Block

使用环境

工作温度范围?:
-1 – 55?°C?[?30 – 130?°F?]

其他

传感器类型?:
带 5 或 6 根导线的 LVDT 或 RVDT

传感器通道?:
1

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-000 -000 线性位移传感器 - LVDT

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使用环境

工作温度范围?:
5 – 60?°C?[?41 – 140?°F?]

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7104A-0050 7104A-0050 即插即用加速度传感器

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产品类型特性

加速度计类型?:
IEPE

即插即用加速度计传感器类型?:
交流响应即插即用加速度计

结构特性

电气连接?:
10-32 同轴连接器

电气特征

满量程输出电压?(VDC):
±5

励磁电压?(VDC):
18 – 30

励磁电流?(mA):
2 – 10

信号特征

频率响应?(Hz):
0.3-

主体特性

轴数?:
1

重量?:
8.6?g?[?.303?oz?]

材料?:
不锈钢

...

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-020 -020 倾角传感器和倾角仪

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结构特性

接口?:
模拟

电气特征

电源电压?(VDC):
12 – 24

模拟接口?(mA):
4 – 20

端接特性

倾角传感器和测斜仪安装?:
垂直

尺寸

尺寸?(mm):
最多 70

倾角传感器和测斜仪精确度?(°):
最多 +/- .5

分辨率?(°):
最多 +/- .01

使用环境

测量原理?:
液体

工作温度范围?:
-25 – 60?°C?[?-13 – 140?°F?]

包装特性

倾...

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-00 AST4300AP4P1000 压力传感器

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产品类型特性

压力传感器类型?:
非易燃压力变送器

压力类型?:
测量仪

结构特性

压力端口/接头?:
1/4 MNPT

电气连接?:
10 英尺导管

电气特征

压力传感器电源电压?(V):
10 – 28

主体特性

端口材料?:
316L

使用环境

压力?:
344.73?bar?[?5000?psi?]

工作温度范围?:
-40 – 80?°C?[?-40 – 176?°F?]

操作/应用

耐压范围?:
2X，最小值

...

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-00 AST4600AP4W1000 压力传感器

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产品类型特性

压力传感器类型?:
防爆型压力变送器

压力类型?:
测量仪

结构特性

压力端口/接头?:
1/4 MNPT

电气连接?:
导管 2 m 引线

电气特征

压力传感器电源电压?(V):
10 – 28

主体特性

端口材料?:
316L

使用环境

工作温度范围?(°C):
-40 – 85

工作温度范围?(°F):
-40 – 185, -40 – 185

操作/应用

耐压范围?:
2X，最小值

...

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