1 真空脱羟炉简介

　　真空脱羟炉属于工业炉范畴，主要应用于石英脱羟工艺。分为真空系统、加热系统、监控系统、现场控制四部分，如下图。

　　图1

　　真空系统：

　　机械泵、油扩散泵、真空计（RS485接口，连接到PCL，PLC根据真空情况决定控制升温等步骤）

　　加热系统：

　　加热系统为380AV供电，将380伏转换为低压后再给加热器供电，功率和电压由功率柜中的可控硅或磁调变压器控制。可控硅或磁调变压器又由温控表控制，温控表根据从热电偶采集到的温度和设定温度对比，利用设定好的PID来决定输出的功率，从而达到温控的目的。

　　现场控制：

　　所有的现场控制由PLC完成，也就是说该系统的核心控制是PLC。

　　PCL主模块：FX2N，负责和仪表通讯，工艺控制，IO点输出。

　　PCL特殊模块：FX2N-8AD，模拟量采集（压力变送、质量流量计）。FX2N-8DA（质量流量计控制）

　　PCL通讯板：FX2N-458DB，PLC和温控仪表、真空计通讯用。

　　监控系统：IPC、世纪星组态软件。

　　2 世纪星组态软件在该项目中所起的作用

　　图2

　　如上图所示是一个完整的控制图，其中PLC 为控制单元，所有信号的采集，IO的控制都由PLC主持完成。由于该系统要完成非常复杂的工艺，所以工艺曲线由上位机设置。工艺控制中的各中参数和IO点都可以显示在计算机上，并且我们对温度、压力、阀门状态做历史记录，以便分析工艺结果和设备故障原因。

　　上位机具有如下具体功能：

　　（1）、实时显示变量、实时温度曲线、实时压力曲线、实时报警显示、当前操作员信息、工艺开始时间、工艺剩余时间等。如下面图示：

　　图3  实时显示设备状态。

　　图4  实时显示压力、温度曲线。

　　（2）、历史记录查询功能（SQL管理）

　　图5

　　可以根据需求按时间、按产品批号、按操作人员查找历史记录。并可以将结果按曲线、表格两种方式显示。

　　（3）、工艺编辑（世纪星中的配方）

　　将所有工艺都存放在计算机上，便于调用，更改工艺时将相应的配方调出即可。

　　（4）、用户管理

　　将用户分组、区分权限，分为厂商、管理员、工艺员、操作员（组长、组员）。

　　将用户分组后，由于分配了不同的权限，所以对每种功能责任到人，加强了安全管理。

　　3 结语

　　尽管在该系统中世纪星组态软件属于辅助控制，但其作用不可缺少。良好的图形界面功能、方便的数据采集功能、使用简单的数据库查询功能、人性化的安全管理功能使世纪星组态软件在该系统中起到“大脑”的作用，由于世纪星组态软件的使用，必将使该系统趋于完美