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  • 系列名称:EE-SPY801 / 802 晶圆片托架落座传感器
    系列描述:

    通过与导槽并用的方式设定落座位置

    与晶圆片托架的接触面使用了耐化学药品性强的氟素树脂

    独有的光学系统几乎可稳定检测所有晶圆片托架

    采用抗干扰光的变调光方式

    使用环保导线(无滑石粉)