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直驱系统——上银单臂晶圆机器人资料

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更新日期:2022-04-27    浏览次数:22    下载次数:0

RWS单臂晶圆机器人采用上银自制高精密、高刚性直驱马达,重复精度可达±0.02mm。


RWS单臂晶圆机器人采用上银自制高精密、高刚性直驱马达,重复精度可达±0.02mm。


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